玻璃覆銅基板（Glass Clad Copper Substrate, GCCS）是一種由特種玻璃與高純度銅層復(fù)合而成的功能化基底材料，在微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）中扮演著“多功能集成平臺(tái)”的角色。它通過(guò)結(jié)合玻璃的絕緣性、光學(xué)透明性與銅的導(dǎo)電性，為MEMS器件提供了機(jī)械支撐、電信號(hào)傳輸和光路集成的三維載體，是5G通信、光學(xué)傳感、慣性導(dǎo)航等領(lǐng)域微型化、高性能器件的核心材料。

（激埃特玻璃覆銅基板）

核心作用與工作原理

1. 功能集成載體

機(jī)械結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)：玻璃基板的高硬度（莫氏硬度6-7）和低熱膨脹系數(shù)（CTE≈3.3×10??/℃）為MEMS器件提供穩(wěn)定的機(jī)械支撐，避免溫度波動(dòng)導(dǎo)致的形變失效。  

電路互聯(lián)通道：表面銅層（厚度5-35μm）通過(guò)微細(xì)加工形成電路，實(shí)現(xiàn)器件間的電信號(hào)傳輸，同時(shí)玻璃介質(zhì)層（介電常數(shù)4.6@1MHz）保障高頻信號(hào)完整性。  

光路集成平臺(tái)：玻璃的透光性（可見(jiàn)光透過(guò)率>90%）允許直接集成光學(xué)元件（如波導(dǎo)、反射鏡），簡(jiǎn)化光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)。

（激埃特原創(chuàng)圖）

2. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

光學(xué)加工關(guān)鍵要求

1. 表面精度標(biāo)準(zhǔn)

平整度：≤1μm/25mm（滿足SEMI微電子基板標(biāo)準(zhǔn)）  

粗糙度：光學(xué)功能面Ra<0.5nm（原子力顯微鏡檢測(cè)）  

微結(jié)構(gòu)精度：激光加工孔徑誤差≤±1.5μm，側(cè)壁垂直度>88°  

2. 光學(xué)性能參數(shù)

3. 核心加工技術(shù)

超精密激光加工：采用紫外激光（波長(zhǎng)355nm）實(shí)現(xiàn)微孔加工，控制熱影響區(qū)<2μm  

化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）：使用納米級(jí)二氧化硅拋光液，同步平整銅層與玻璃表面  

潔凈封裝：百級(jí)潔凈環(huán)境下完成封裝，確保表面顆?！?0個(gè)/dm2（粒徑>0.5μm）  

（圖源網(wǎng)絡(luò)，侵刪）

技術(shù)挑戰(zhàn)與發(fā)展方向

1. 當(dāng)前技術(shù)瓶頸

異質(zhì)界面控制：銅/玻璃界面結(jié)合強(qiáng)度需突破15MPa（ASTM標(biāo)準(zhǔn)）  

大尺寸加工：300mm晶圓級(jí)加工良率<85%  

成本控制：高精度加工設(shè)備投入占總成本60%以上  

（圖源傳感器專家網(wǎng)，侵刪）

2. 未來(lái)趨勢(shì)

智能加工系統(tǒng)：結(jié)合機(jī)器學(xué)習(xí)實(shí)時(shí)優(yōu)化激光參數(shù)，加工效率提升3倍  

綠色制造：開(kāi)發(fā)無(wú)氰化物蝕刻液，降低廢水COD值90%  

跨尺度集成：實(shí)現(xiàn)納米級(jí)光學(xué)結(jié)構(gòu)與毫米級(jí)機(jī)械結(jié)構(gòu)的協(xié)同加工  

玻璃覆銅基板通過(guò)材料創(chuàng)新與精密加工技術(shù)的結(jié)合，正在推動(dòng)MEMS器件向更高集成度、更低功耗方向發(fā)展。隨著6G通信、量子傳感等新興領(lǐng)域?qū)ζ骷阅芤蟮奶嵘涔鈱W(xué)加工精度需求已進(jìn)入亞納米時(shí)代，未來(lái)需在異質(zhì)材料界面優(yōu)化、智能化加工裝備等領(lǐng)域持續(xù)突破。